1 飞马座运动平台核心特点：三位一体，重 塑生产力

　　雅科贝思飞马座运动平台PGS-XYT系列，以系统层面的 正向设计，从材料、结构、热管理和运动控制等多个维度出 发，彻底打破半导体行业困局。它不仅实现了毫秒级整定、 亚微米级精度，更将静态抖动控制在纳米级别，为半导体制 造带来了革命性的突破。

　　(1)突破性产率：毫秒级响应，赋能高效制造

　　飞马座运动平台采用先进的直驱技术，结合轻量化高刚 度结构设计、主动减震系统以及智能运动控制算法，将平台 整定时间缩短至10ms以内。这意味着更快的运动速度、更 短的生产周期，从而大幅提升平台产率，助力企业在激烈的 市场竞争中赢得先机。

　　(2)纳米级抖动：精益求精，铸就卓越品质

　　在精密制造领域，纳米级抖动是衡量平台性能的关键指 标。飞马座运动平台搭载高信噪比控制系统，实现了3nm静 态抖动的卓越表现。这为半导体检测、量测等对精度要求极 高的应用场景提供了坚实保障。

　　(3)卓越洁净性能：高标准环境，延长设备寿命

　　飞马座运动平台充分发挥直驱技术在洁净度和寿命上的 先天优势，并采用低发尘设计、内置抽排系统和气路污染隔 绝等创新技术，实现了ISO2级别的超高洁净度。这不仅能够 有效降低污染离子的传播，更显著延长设备的使用寿命，为 企业创造更大价值。

　　2 技术优势：突破行业瓶颈

　　(1)震动管理：主动隔震，稳如磐石

　　飞马座运动平台采用先进的直驱技术，结合轻量化高 刚度结构设计、主动减震系统以及智能运动控制算法，将平 台整定时间缩短至10ms以内，可满足最大加速度2.5g的工 况。这意味着更快的运动速度、更短的生产周期，从而大幅 提升平台产率，助力企业在激烈的市场竞争中赢得先机。

　　(2)轻量化高刚度设计：精益求精，追求极致

　　利用先进材料和拓扑优化等手段，飞马座运动平台实现

　　了轻量化高刚度结构设计。三片式一体化设计不仅能够压缩 空间尺寸，更能提高结构刚度，从根源上减少抖动和串扰， 确保产率和精度的双重提升。

　　3 应用场景

　　飞马座运动平台凭借其卓越的性能，广泛适用于半导体 制造过程中的关键环节，包括：

　　· 半导体检测与量测：在晶圆检测、缺陷分析、膜厚测 量等高精度量测应用中，飞马座平台能够提供稳定的运动控 制和纳米级抖动抑制，保障测量结果的准确性和可靠性。

　　· 套刻误差检测与校正：在多层芯片制造过程中，套刻 精度是影响芯片性能的关键因素。飞马座平台能够辅助套刻 误差的检测与校正，提高芯片的良率。