1 克洛诺斯三大创新矩阵

　　凭借17年的技术积淀，克洛诺斯作为国家级专精特新 “小巨人”企业，持续突破纳米级精度天花板：实现了从气 浮零部件到半导体运控平台的全场景覆盖;国内首家实现晶 圆级纳米定位技术量产;累计服务500+半导体/光学/面板/ LDI/自动化客户。克洛诺斯呈现的三大创新矩阵包括：

　　· 半导体前道量检测方案：水星运动平台(±2nm位置 稳定性)+ 天王星运动平台(40ms整定时间)+ 气浮转台 (25nm跳动误差)+ 气浮运动平台(±35nm精度、±5nm Jitter值);

　　· 先进封装解决方案：木星运动平台(±200nm贴片精 度)+ 天王星运动平台(40ms整定时间);

　　· 精密加工创新组合：气浮电主轴(25nm精度)+ 小蓝 动力导轨(±5μm进度)。

　　2 技术领航，定义行业新标准

　　(1)木星超精密运动控制平台

　　颠覆传统封装工艺：2m/s疾速响应配合±200nm定位 精度。

　　木星运动平台，结合先进的运动控制器和运动算法，提 供多个特色控制功能：例如零稳定时间、非线性控制、先进 的前馈和轨迹过滤器、纳秒级抖动控制的全部轴完全同步、 特有的同步轴控制算法、多维度mapping、基于实时map 位的先进触发能力、先进的控制优化软件诊断工具和系统频谱分析工具，适用于先进固晶制程(倒晶封装、扇出、混合 键合、2.5D/3D封装)以及Mini LED固晶、点胶等领域。

　　(2)水星超精密运动控制平台

　　前道量检测新标杆：±2nm稳定性+1.25m/s动态性能。

　　水星运动控制平台，总行程达475*410mm，可满足12 寸及以下的晶圆量检测使用。水星拥有极佳的动态性能，加 速度达20m/s²,同时最高速度达到1.25m/s，定位精度高达 ±1μm并拥有优异的双向重复精度，可满足晶圆量检测设备 的短行程短稳定需求。

　　水星运控平台卡盘面带真空接口，还可选配导轨粉尘抽 吸功能、个性化信号以及压缩空气管等，可满足ISO2洁净等 级环境需求。为了进一步提升晶圆量检测UPH，克洛诺斯还 可为水星加装静音系列主动避震，在特定频率及工况下隔振 效果能达到95%以上，每移动10μm整定窗口±40nm时整定 时间就可控制在40ms内，并且位置稳定性在2KHZ时能达到 ±2nm，这意味着水星能极大程度上降低工作时间，有效提 升设备的UPH值。

　　(3)气浮电主轴

　　精密加工里程碑：20000rpm水冷直驱+<100nm径向 误差。

　　该系列独特的密封(迷宫式)确保主轴在不清洁的环境 中使用而不易损坏。其中，CABS-20000和CABS-12000主 轴适用于高速加工和精度要求很高的加工。CABS-5000主轴 是为晶圆研磨和抛光设计开发的，主轴的径向和轴向误差运动小于200nm，适用于各种高精度加工设备。